产品介绍

AccuFiz干涉仪，面世于2011年，是重点针对波前中高频特征测量的高分辨菲索干涉仪，光学系统采用衍射极限设计，实现了高传函，低噪声；同时AccuFiz干涉仪借鉴了4D公司在动态相移干涉技术上的成功经验，沿用其核心算法，采用动态载波相移技术，可在气流扰动和振动条件下实现高精度测量，这一技术使得AccuFiz可以解决大部分的动态测量问题。



AccuFiz干涉仪也是一款紧凑、轻巧的菲索干涉仪，可以满足多样的测量需求，是一款性价比很高的干涉仪。具有以下特点：

- 衍射极限光学系统设计，提供高空间分辨率，可清晰看到样品表面中高频特征

- 动态载波相移技术，实现在气流扰动和振动条件下的高精度测量

- 可接短相干光源模块，直接测量平行平面面形，可测大于300微米厚样品

常规属性

系统结构：菲索型干涉仪

采集模式：机械相移式，动态载波相移式

工作波段： 稳频He-Ne光源

可选：532nm、1053nm、1064nm、1550nm（SWIR）、3-5µm（MWIR）、µm（LWIR）

光 源：光源尺寸连续可调，降低相干噪声

可接入短相干光源、高功率光源

光束口径：标准4英寸、6英寸；定制大口径：12英寸、18英寸、24英寸

相机像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit

变倍：1-10X Smart ZoomTM

外形尺寸：4英寸： x x cm

6英寸： x x cm

重量：4英寸：；6英寸：

系统性能

条纹分辨率：相机：接近500对；6MP相机：接近1000对

空间频率响应： ITF > ，@ 500 cyc/AP for MP 相机; 1000 cyc/AP for 6 MP 相机

RMS重复性：
RMS精密度： waves（）RMS*

最小曝光时间：10µs

样品反射率：1-99%（需衰减）



*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均

采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果