匀胶机TA-280/TA-280D/TA-280Q

TA-280产品型号：

TA-280匀胶机　

TA-280匀胶机：工作腔内径D290mm适合直径D10mm-280mm园片及200mmX200mm方形片。

主要特点：

*TA-280匀胶机旋涂仪26程序控制器：

可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程；

每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态；

加速度（及负加速度），可设置。

中英文两套操作系统供选择。

操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序，方便快速调试并存储程序。

设置程序：通用符号，6键操作，人机交互式对话，提示操作。

无需培训，上手就会操作。

*TA-280匀胶机旋涂仪可连接滴胶机，自动控制在必要的瞬间滴胶，自动控制重复定量滴胶。

的重复的自动控制操作，是人工不可能及的。

*TA-280匀胶机旋涂仪工作腔可氮气保护。

我们设备通过惰性气体保护机构设计，对所有的环境变量（温度，湿度，洁净度）有效控制，

这一点针对科研实验的苛刻要求而开发。

*TA-280匀胶机旋涂仪真空吸片，爪卡机构。2种工作状态随意选择。爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。

*TA-280匀胶机旋涂仪中心结构定位：圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。

主机标准配备一片真空吸盘即可满足（TA-280适用3英寸-11英寸基片）；（TA-360适用3英寸-14英寸基片）。

小于3英寸可使用定制真空吸盘。

*TA-280匀胶机旋涂仪卡盘，吸盘品种丰富，适应各种需要。

*TA-280匀胶机旋涂仪真空吸片系统更安全：

安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，必须在安全的真空度下，

电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。运行中失去真空，系统保护性停机。

*TA-280匀胶机旋涂仪伺服电机，转速精度更高：300-10000转/分，转速稳定性：+-%转速10000转/分

*TA-280匀胶机旋涂仪设备所用的天然聚丙烯（NPP）材质，食品级卫生材料，易清洁，材质，绿色环保型实验室的选择。

TA-280D匀胶机产品简介：

主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。

适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆工艺。

可在科研，教育，生产中应用。

产品型号：

TA-280D匀胶机　工作主机独立，控制器分置。

TA-280D匀胶机：工作腔内径D290mm适合直径D10mm-280mm园片及200mmX200mm方形片。

主要特点：

*26程序控制器：

可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程；

每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态；

加速度（及负加速度），可设置。

中英文两套操作系统供选择。

操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序，方便快速调试并存储程序。

设置程序：通用符号，6键操作，人机交互式对话，提示操作。

无需培训，上手就会操作。

*可连接滴胶机，自动控制在必要的瞬间滴胶，自动控制重复定量滴胶。

的重复的自动控制操作，是人工不可能及的。

*工作腔可氮气保护。

我们设备通过惰性气体保护机构设计，对所有的环境变量（温度，湿度，洁净度）有效控制，

这一点针对科研实验的苛刻要求而开发。

*真空吸片，爪卡机构。2种工作状态随意选择。爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。

*中心结构定位：圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。

主机标准配备一片真空吸盘即可满足（TA-280适用3英寸-11英寸基片）；（TA-360适用3英寸-14英寸基片）。

小于3英寸可使用定制真空吸盘。

*卡盘，吸盘品种丰富，适应各种需要。

*真空吸片系统更安全：

安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，必须在安全的真空度下，

电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。运行中失去真空，系统保护性停机。

*伺服电机，转速精度更高：300-10000转/分，转速稳定性：+-%转速10000转/分

*设备所用的天然聚丙烯（NPP）材质，食品级卫生材料，易清洁，材质，绿色环保型实验室的选择。

技术参数：

单相交流电源：

电机功率：200W

转数：300-10000转/分。

可设定时间：1---9999秒。

标准包装：尺寸：490mm宽x400mm深x300mm高,

可选配件

1.特殊真空吸盘
2.各种卡盘

升/分无油真空泵

4．滴胶机

TA-280Q产品简介：

主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。

适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆工艺。

可在科研，教育，生产中应用。

产品型号：

TA-280Q匀胶机　工作主机独立且可台面嵌入式安装，控制器分置。

TA-280Q匀胶机：工作腔内径D290mm适合直径D10mm-280mm园片及200mmX200mm方形片。

主要特点：

*26程序控制器：

可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程；

每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态；

加速度（及负加速度），可设置。

中英文两套操作系统供选择。

操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序，方便快速调试并存储程序。

设置程序：通用符号，6键操作，人机交互式对话，提示操作。

无需培训，上手就会操作。

*可连接滴胶机，自动控制在必要的瞬间滴胶，自动控制重复定量滴胶。

的重复的自动控制操作，是人工不可能及的。

*工作腔可氮气保护。

我们设备通过惰性气体保护机构设计，对所有的环境变量（温度，湿度，洁净度）有效控制，

这一点针对科研实验的苛刻要求而开发。

*真空吸片，爪卡机构。2种工作状态随意选择。爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。

*中心结构定位：圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。

主机标准配备一片真空吸盘即可满足（TA-280适用3英寸-11英寸基片）；（TA-360适用3英寸-14英寸基片）。

小于3英寸可使用定制真空吸盘。

*卡盘，吸盘品种丰富，适应各种需要。

*真空吸片系统更安全：

安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，必须在安全的真空度下，

电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。运行中失去真空，系统保护性停机。

*伺服电机，转速精度更高：300-10000转/分，转速稳定性：+-%转速10000转/分

*设备所用的天然聚丙烯（NPP）材质，食品级卫生材料，易清洁，材质，绿色环保型实验室的选择。

技术参数：

单相交流电源：

电机功率：200W

转数：300-10000转/分。

可设定时间：1---9999秒。

标准包装：尺寸：490mm宽x400mm深x300mm高,

可选配件

1.特殊真空吸盘
2.各种卡盘

升/分无油真空泵

4．滴胶机

技术参数：

单相交流电源：

电机功率：200W

转数：300 - 10000 转/分。

可设定时间：1---9999秒。

标准包装：尺寸： 490mm宽 x 380mm深 x 310 mm高 ,

中心定位原理

中心定位
利用中心定位板，将基片在机器转轴中心定位。

中心定位板的孔位可以完成4，6，8，10英寸基片定位。完成匀胶。

TA-280匀胶机旋涂仪标准配置吸盘

TA-280匀胶机旋涂仪 可选购：直径10，20，25，50，75mm聚四氟乙烯吸盘。

TA-280匀胶机旋涂仪 碎片 微 小片 卡盘。

TA-280匀胶机旋涂仪 各种卡盘接受订货。因客户要求差异太大，无法备货。

可选配件

1. 特殊真空吸盘
2. 各种卡盘

3. 65升/分无油真空泵

4．滴胶机

TA-280匀胶机旋涂仪 无油真空泵

特点 :无需任何润滑油，可长时间连续使用，采用单项电源。

技术参数

极限真空：-

抽气效率 60 （L/min）

功率 （kw）

电压 220V/50Hz（Hz/v）

TA-280匀胶机旋涂仪 自 动 点 胶 机