Chroma 7503三维光学轮廓仪乃利用扫描白光干涉技术所发展之次纳米三维光学轮廓量测仪，透过精密的扫描系统以及创新算法进行微奈米结构物表面轮廓的量测与分析。并可依据需求搭配彩色或单色相机进行2D量测，使系统亦具备工具显微镜量测功能，达到一机多用途的目的。

Chroma 7503新一代的系统模块化设计，具备高度弹性之组合配置，可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用：搭载电动鼻轮，最多可同时挂载5种物镜，使用时直接切换，省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台，可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析，适合使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。

Chroma 7503之高度分辨率可达 nm，而搭配使用Z垂直轴量测扫描行程更可达到100mm，且水平轴向亦可达次微米解析，除此Chroma 7503 可透过计算机控制移动平台进行水平扫瞄，使其水平轴向量测范围可达到150 × 150mm，并可依据客户需求修改平台尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系统校正结果可以追朔至NIST标准，并结合数种创新且强固可靠的算法，因此本系列产品可同时拥有高精准度以及大范围测量的特质。

Chroma 7503系统配备自动化扫描平台，由垂直轴自动化移动平台的扫描功能搭配快速的自动对焦算法，可有效辅助用户找到优秀的对焦位置，另外通过倾斜调整平台可快速地将待测物调平，在短短的几秒钟之内无需繁复的操作，系统即可自动将待测物体调整至优秀对焦位置并予以调平进行量测。