钼靶材,钼为银白色金属,钼原子半径为,原子体积为/mol,配位数为8,晶体为Az型体心立方晶系,空间群为Oh(lm3m),至今还没发现它有异构转变.常温下钼的晶格参数在~之间,随杂质含量而变化。钼熔点很高,在自然界单质中名列第六,被称作难熔金属,见表2。钼的密度为/cm,约为钨的一半(钨密度/cm)。钼的热膨胀系数很低,20~100℃时为×10/℃;钼的热传导率较高,为/(m·k) 。钼电阻率较低:0℃时为×-10Ω·cm;800℃时为×-10Ω·cm;2400℃时为72×-10Ω·cm。钼属顺磁体,%纯度的钼在25℃时比磁化系数为×10cm/g。钼的比热在25℃时为242. 8J/(kg·k)。钼的硬度较大,摩氏硬度为5~。钼在沸点的蒸发热为594kJ/mol;熔化热为 ±/mol;在25℃时的升华热为659kJ/mol。钼是发热体、隔热屏,它具有导电导热性能优越、热膨胀系数小,抗腐蚀性强等优点,主要用于电真空器件、高温炉内发热体、隔热板、料舟等,用于制造钼舟、电力半导体用钼元片和制作电真空光源零件等。下图是钼溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片,平均粒径<100um
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