宽带厚胶,SU-8 10系列:GM1010,GM1020,GM1030,GM1040,GM1050,GM1060,GM1070,GM1075
导电 SU-8 (GCM3060),SPR220, NR26-25000P,AZ P4620.
宽带厚胶
详细介绍:
类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 |
宽带厚胶 | SU-8 10系列 | g/h/i-Line | 负性环氧类化学放大光刻胶,具有高深宽比,光刻后可以达到非常好的陡直度. | ||
导电SU-8(GCM3060) | 1-50 | 负性环氧类光刻胶;可导电、粘合性较好,图层应力降低 | |||
SPR220 | g/h/i-Line | 1—30 | 1um | 正性光刻胶,用于MEMS和Bump工艺 | |
NR26-25000P | g/h/i-Line | 20-130 | 负性光刻胶,适用于各类接触式光刻机(mask aligner)、stepper、scanner | ||
AZ P4620 | g/h/i-Line | 6—20 | 1um | 正性光刻胶 |
SU-8规格(常年现货供应)
型号 | GM1010 | GM1020 | GM1030 | GM1040 | GM1050 | GM1060 | GM1070 | GM1075 |
厚度/um | < | < | < | 5-27 | 15-92 | 50-192 |
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