TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
产品详细资料
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用PCI接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
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TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 | 偏振器方位角范围 | 0°-180°读取分辨率为0.05° |
入射光波长 | 650nm（半导体激光器）/ 632.8nm（氦氖激光器）。 | 偏振器步进角 | 0.014°/步 |
入射角调节范围 | 20°- 90°精度≤0.05° | 测量膜厚 | ±0.5nm |
光学中心高 | 80mm | 折射率重复性精度 | ±0.05 |
测量厚度zui小示值 | ≤1nm | 仪器测量精度 | ±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时） |
允许样品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320（mm） |
度盘刻度 | 每格1度 | 主机重量 | 28kg |
TPY-2实验主机、电控系统、PCI接口、二氧化硅膜样片、配套软件
TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
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