P13 系列压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为 μm/ 轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
特点:
2~3 维运动 位移行程 μm
体积小巧 毫秒级响应时间
典型应用:
2D/3D 扫描系统
光路调整
半导体技术
微操作
原子力显微镜
纳米定位、
超小体积、无机械间隙、高分辨率:
固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有非常高的分辨率,运动直线性好。P13 系列压电纳米定位台可以很容易的安装到其他的定位系统并且可以配置传感测量装置(应变计传感器)消除压电陶瓷的迟滞与蠕变特性。P13 压电平移台适用于动态使用,是扫描应用的理想选择。
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
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