P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm，非常适于透射光应用，如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴，它的内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动最小化。
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P15压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度
P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm，非常适于透射光应用，如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴，它的内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动最小化。
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