XP-63X 压电纳米定位台为压电陶瓷直驱 X 轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维 XY、三维 XYZ 纳米定位台。
1-3 维平移台:
XP-63X 系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式组成 XY、
XZ、XYZ 多种运动结构。
多种规格型号可选。
柔性铰链采用精密线切割技术。
体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高:
XP-63X 系列压电纳米定位特的结构设计,具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率,响应时间可以实现亚毫秒级。例如 XP-630 带动 20g 负载,响应时间仅为 5ms。
XP-63X 系 列 产 品 体 积 小 巧,XP-630 一 维 尺 寸 仅 为60×45×18mm,易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器,可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器,控制器通过 PID 算法对检测到的位置信号进行修正,从而实现纳米级的精密定位。
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