P63 系列压电纳米定位台为小体积 1 至 3 维压电定位平台，内部采用直驱机构，它的重要的特点是超精密且体积非常小巧，XYZ 三维运动版本的尺寸仅为 30×30×42mm（X 向运动版本尺寸仅为 30×30×21mm），非常易于集成到任何扫描仪器中。
特点：
· 1~3 维自由选择 · 亚毫秒响应时间 · 位移行程 μm · 承载 · 重复定位精度可达纳米级
典型应用：
· 显微成像 · 纳米定位 · 生物技术 · 半导体技术
· 质量保证测试 · 微车削 · 原子力显微镜
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P63系列压电纳米定位台为小体积1至3维压电定位平台，内部采用直驱机构，它的重要的特点是超精密且体积非常小巧，XYZ三维运动版本的尺寸仅为30×30×42mm（X向运动版本尺寸仅为30×30×21mm），非常易于集成到任何扫描仪器中
P63 系列压电纳米定位台为小体积 1 至 3 维压电定位平台，内部采用直驱机构，它的重要的特点是超精密且体积非常小巧，XYZ 三维运动版本的尺寸仅为 30×30×42mm（X 向运动版本尺寸仅为 30×30×21mm），非常易于集成到任何扫描仪器中。
特点：
· 1~3 维自由选择 · 亚毫秒响应时间 · 位移行程 μm · 承载 · 重复定位精度可达纳米级
典型应用：
· 显微成像 · 纳米定位 · 生物技术 · 半导体技术
· 质量保证测试 · 微车削 · 原子力显微镜
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