概括：

Tousimis成立于1962年，拥有50余年的美国临界点干燥仪（Critical Point Dryers, CPD）设备制造经验。Tousimis自成立之初就一直致力于技术革新，着临界点干燥设备行业的发展。Tousimis可提供直径从1.25英寸到8英寸的晶片临界点干燥仪，其因技术*、操作简便、可靠性高而，已在材料、化工、生物、制药、MEMS器件、MOF、生物传感器等领域

特点：

6"圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；

洁净室和防静电兼容设计；

通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；

所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；

可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性；

每个操作模式LED显示，一目了然;

集成自动控温；

内置圆盘裂片保证安全；

可以一次干燥5片直径为6"的圆晶，更换样品架，也可以一次干燥5片直径4"、3"、2"的圆晶或5片边长为10mm的方晶（提供HF兼容的样品架）；

静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

拥有高效隔热的冷却系统，使系统能够迅速从室温降到将近0°C；

标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

样品室填块可以调整样品室内径到4"、3",2",1.25",使LCO2的使用效率和处理时间;

所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

美国临界点干燥仪规格：

外部尺寸：宽14.25" (36.2 cm) × 高11.75" (29.8 cm) × 长25.0" (63.5cm)；

占地尺寸：宽42" (107 cm) × 深30" (76 cm)；

样品室尺寸：内径6.50" × 深1.25"，样品室容积：679 ml;

温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；

LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制；

120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；

外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；

防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门

样品室O型圈3个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；

4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6"、4、3、2和1.25英寸;

直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容；

流量计，可准确控制BLEED的排气速率；

用户手册；

所有部件一年质保。

客服热线：

迈可诺技术有限公司

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