半导体材料提纯物理特性及原理

四氯化铪是一种无色的白色粉末，四氯化铪应用领域广泛，其中5N级（杂质含量不高于0.001%）以上纯度可作为前驱体用于半导体、超高温陶瓷、大功率LED、原子反应堆等领域。近年来，在下游市场快速发展带动下，四氯化铪市场需求不断增加，需求空间较为广阔，但我国的高纯四氯化铪（电子级四氯化铪）的产量和技术都存在明显短板。

四氯化铪的物理特性‌

基本标识‌：CAS号13499-05-3，分子量320.30，常温下为无色或白色结晶粉末。

‌热学特性‌：熔点320℃，常压下317℃即可升华，密度2.8g/cm³。

‌反应特性‌：吸湿性极-强，遇水会发生剧烈水解，在潮湿空气中会释放盐酸烟雾。

现有技术中的四氯化铪主要通过铪粉氯化法制备而成，是指以氧化铪、四-氯-化-碳、氯气等为原材料，经过粉碎、烘干、氯化反应、冷凝器冷凝等环节生成四氯化铪的方法。锆铪为伴生，通过铪粉氯化法生成的四氯化铪纯度较低，一般含有一定量的四氯化锆、三氯化铁、四氯化钛等一系列氯化物杂质。

电子工业要求的电子级稀有金属氯化物纯度通常不低于5N，主要限制各种碱性金属（Na、K、Ca、Al）和过渡金属（Fe、Cu、Zn）元素和P、S等非金属元素的含量，这些杂质元素会严重影响半导体制备，造成严重的不良率。在生产四氯化铪过程中，常常伴有FeCl3、AlCl3、TiCl4、SiCl4等杂质，FeCl3的沸点与四氯化铪接近，难以除去。这些杂质对四氯化铪的产品质量影响很大，必须采用提纯方法以去除这些杂质。

电子级铪基材料纯化设备介绍：

通过真空条件下高温升华分温度冷凝去除高熔点物质，可获得电子级四氯化铪，满足先-进制程要求。

目前我司根据客户的需求，已开发出多款适用于四氯化铪材料纯化设备，管径、投料量、控温控压、真空度，可根据客户需求进行定制电子级铪基材料纯化设备及其他相关设备，欢迎垂询。我司设备具有提纯效果好、可工业化规模应用、质量稳定、得率高的特性。