一、产品简介
3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperViewWM100光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及装备制造、高校科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
二、产品功能
1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。
2)自动化测量：支持Mark点识别定位，建立定位坐标系，支持批量阵列点位设置或点位直接导入，并自动读取扫描分析模板，自动传输结果报告。
3)辅助自动化功能：具备自动条纹搜索、自动亮度调节、扫描范围自动设置的多个辅助自动化功能。（W1/WM100专属）
4)单区域自动测量：单个测量点位可实现一键测量。
5)自动拼接测量：支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量。
6)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合辅助自动化功能，实现一键测量。
7)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能。
8)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
9)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析。
10)数据报表导出：支持word、excel、csv、pdf格式的数据报表导出功能，支持2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果的导出。
11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位移轴的运动控制及速度调节、光源亮度调节、急停等。
12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声振幅检测功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据。
13)气浮隔振功能：采用气浮隔振系统，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度。
14)光源安全功能：设备设置了无人值守下的自主休眠功能，有效延长光源使用寿命。
15)镜头安全功能：软硬件双重防撞保护，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。
