喷金喷碳仪属于双功能电镜制样镀膜设备,一套真空与控制系统同时承载喷金溅射和喷碳热蒸发两套工艺,不需要更换整机设备就可以切换两种镀膜模式,提升样品处理的效率,也拓展设备能够处理的样品范围,适合样品类型复杂的电镜实验室使用。很多实验室需要分别做喷金、喷碳处理,如果分别采购两套独立设备,不仅设备购置成本增加,还会占用更多实验台面空间,
喷金喷碳仪一体化的设计,在一定程度缓解这方面的压力。
设备采用主机搭配副机的分体结构,主机集成溅射模块与真空系统,副机用来承载热蒸发喷碳模块,整套设备占用的实验室面积不大,对比同类型复合镀膜设备,体积得到缩减,适配空间紧张的实验环境。腔体依旧选用高透光硼硅酸盐玻璃材质,不管执行喷金溅射还是喷碳蒸发,操作人员都可以直接观察腔体内部发生的镀膜过程,便于把控实验进程。
喷金环节依靠直流二极溅射原理,在低真空环境电离氩气生成等离子体,离子轰击铂靶,铂原子向外沉积,形成致密金属导电薄膜。喷碳部分采用碳纤维绳热蒸发方案,依靠短时大电流对碳纤维绳加热,碳纤维快速蒸发,沉降在样品表面生成超薄碳膜,依靠短时间定时控制,调控碳膜的厚度。碳纤维绳对比传统石墨蒸发源,蒸发过程更加稳定,碳膜纯度更高,薄膜和样品基底之间附着力表现更好。
真空系统配备皮拉尼真空计,真空读数精度较好,微型真空阀可以接入惰性工艺气体,改善成膜品质。配套机械泵和整套系统适配,抽真空耗时短,设备运行噪音处在较低水平,冷却配置为风冷,也可以选配磁控靶组件,加装之后溅射电流得到提升,溅射速率相比二极靶有一定增长,拓展更多实验可能性。
喷金喷碳仪出厂为完整成套配置,主机副机、铂靶、碳纤维绳、机械泵、真空计、控制系统全部配齐,开箱调试就可以投入实验工作。在实际的科研工作中,面对不同的电镜表征需求,可以灵活切换喷金、喷碳工艺,部分样品适合金属导电镀层,部分样品更适配碳导电层,一台设备就可以完成处理。高校教学实验室,也可以利用喷金喷碳仪,让学生同时接触直流溅射与热蒸发两套真空镀膜原理,完成对比类教学实验。设备在后期使用阶段,厂家也会提供相关技术咨询,保障设备稳定运行,服务各类材料微观表征前处理工作。