磁控溅射仪是博远微朗面向轻量化科研、教学、样品检测开发的小型真空镀膜设备,主要服务SEM样品前处理与小型薄膜沉积实验,兼顾低温低损伤、成膜细腻、操作便捷的特点,适配高校、第三方检测机构以及企业研发实验室的使用环境。大型工业磁控溅射设备购置和运维成本较高,很多中小型科研团队实验样本体积偏小,实验频次浮动较大,桌面型
磁控溅射仪可以匹配这类实际的实验条件。
磁控溅射仪依靠磁场改变电子运动轨迹,电子做螺旋运动,增加和工艺气体氩气碰撞次数,提升腔体内等离子体密度,以此提升溅射效率。整套镀膜过程处在低电压低气压环境,减少杂质混入镀层,保障薄膜纯净程度。高能电子经过多次碰撞消耗能量,样品基底不会出现明显升温,热敏、柔性、易破碎样品可以安全完成镀膜,弥补传统热蒸发设备高温损伤样品的短板。
整机腔体采用透明硼硅酸盐玻璃,实验过程中可以直接观察等离子体的变化状态,便于操作人员实时调试工艺参数,减少反复试验带来的样品损耗。样品台支持多件样品同时放置加工,提升批量实验和教学实训的工作效率。设备支持多种靶材切换,铂作为出厂标配,金、银、铜、铱都可以按需选用,镀膜速率可以连续调整,搭配数码定时器,实现薄膜厚度可控。设备搭载真空联锁保护,真空条件没有达到设定标准,溅射电源会自动断开,规避高压带来的故障风险,压强、溅射电流参数可以提前设置,简化操作步骤,降低误操作概率。
磁控溅射仪的应用覆盖多个方向,扫描电镜制样环节,陶瓷、矿物、高分子、生物绝缘试样,经过溅射生成导电薄膜,缓解荷电效应,改善电镜成像质量。在材料科研领域,可以制备电化学实验需要的微型导电电极,服务传感材料、新能源材料相关测试工作。高校课堂教学,可开展纳米薄膜、金属复合膜、催化涂层沉积实验,更换靶材和工艺气体还可以拓展表面改性相关实训项目。
设备商务供货流程规范,货款到账之后会在约定时间完成发货,开具增值税专用发票,物流运费由厂家承担。整机享有两年质保,故障优先远程技术指导,远程不能解决可以寄回厂家检修,往返运费由厂家承担,也可以按需选购上门安装实操培训服务,长期提供工艺指导、耗材供应、故障咨询等配套服务,为实验室持续开展薄膜实验提供保障。