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把等离子清洗机搬上实验桌:上海沛沅仪器的台式真空等离子清洗机

2026年09月21日 14:51:26      来源:创新制造 >> 进入该公司展台      阅读量:9

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   做材料、半导体、生物芯片方向的实验人员,大概都碰过同一个小麻烦:样品表面那层看不见的有机残留。用溶剂擦、用超声洗,费时费力不说,遇到形状不规则的金属件、带微孔的陶瓷、表面粗糙的塑料,常常还是处理不干净,后续的键合、涂覆、粘接就跟着受影响。
 
  换个思路——用等离子体。
 
  上海沛沅仪器,是做什么的
 
  上海沛沅仪器是一家围绕等离子体技术展开设计、制造、产品开发与销售服务的企业,面向用户提供实验室等离子清洗机、小型等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子去胶机等国产等离子表面处理设备与配套服务。公司技术团队中硕士及以上学位成员占比在 67% 以上,由长期从事等离子体应用技术研究开发、多次参与国家重大科学工程研究的专家与产业化专家联合创建,并与中科院上海应用物理研究所、复旦大学、中国科技大学、上海科技大学、上海交通大学等保持着密切的技术合作交流关系。
 
  为什么实验室更偏爱台式机
 
  等离子体处理的好处在于"干":不用溶剂,靠活性粒子把表面污染物打成小分子再抽走,同时还能在材料表面引入极性基团,改善润湿性和粘接性。但传统工业等离子设备占地大、管路多,塞进一间本就拥挤的实验室并不现实。
 
  台式真空等离子清洗机的价值就在这里——体积小,可以直接摆在实验桌上,也能放进手套箱;使用成本不高,维护简单,日常开机就能处理样品。它面向金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等不同材质,不管样品几何形状复杂还是表面粗糙程度各异,都能做超清洗和表面改性。
 
  PLUTO-T 的几个实用点
 
  第一,桌面型设计。整机紧凑,移动方便,实验室的各种实验桌、手套箱内都放得下,不用为它单独腾地方。
 
  第二,腔体 4.3 升。体积不大,但样品有效处理面积给得实在,日常科研用量足够周转。
 
  第三,气浴电极。清洗效率比常规结构更高,处理时间相应更短。
 
  第四,射频源可选。标准配置为 40KHz 等离子发生器,若工艺另有需要,也可选配 13.56MHz 射频等离子源,两种频率对应不同的处理场景。
 
  第五,容易上手。以手动操作为主,日常没有耗材支出,长期使用成本控制得住。
 
  关键参数
 
  真空腔为 4.3L 不锈钢腔体;电极采用平板气浴电极,材质铝合金,尺寸 95×170mm;频率 40KHz,可选配 13.56MHz 射频等离子源;功率 0-200W 连续可调,精度 1W,设备运行中也能随时调整参数;气体控制 0-300ml,标配 1 路气路;真空计为电偶式,精度 0.01mTor;控制方式采用 4.3 寸工业控制触摸屏,手动控制;真空泵配国产油泵。
 
  按需选配
 
  真空泵可换成干泵或进口油泵;气路可增加第二路,方便两种工艺气体的切换或混合;控制方式也可升级为全自动控制,适合重复性强、批量化处理的需求。
 
  最后
 
  上海沛沅仪器的思路比较直接:把等离子设备做成实验室用得起、放得下、好维护的形态,再配合技术团队在等离子体应用上的积累,让用户拿到设备的同时也能拿到对应的工艺支持。如果你的实验室正准备添一台国产等离子清洗机,这台 4.3L 的台式真空等离子清洗机 PLUTO-T,值得放进对比清单里看看。
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