随着科学技术的不断进步、发展，电子行业的发展越来越迅速，微电子产品用超纯水设备可以满足电子行业的用水需求。它是一种将离子交换技术、离子电迁移技术和离子交换膜技术相互结合在一起的超纯水工艺技术，属于绿色环保的技术。
技术特征：
将电渗析技术和离子交换技术相融合，无需酸碱而连续制取高品质的纯水，利用电而不是酸碱对树脂进行再生，简单的说，EDI是一种不消耗酸碱而制取纯水的新技术，俗称电混床，填充床电渗析，EDI具有可连续生产连续再生，产水品质稳定，运行费用低，操作管理方便，占地面积小等优点，同时无废水，化学污染排放，有利于节水和环保，也节省了污水处理投资和水处理费用。
设备的优点说明：
1、设备所有零件均是采用进口产品，技术成熟。
2、只要改变膜的数量就可以改变处理量，设备整体化成都高。
3、全自动化控制，装有自我保护系统。
4、能源消耗低，水利用率大。
5、微电子用超纯水设备结构合理，操作简单，运行稳定。
微电子产品用超纯水设备的工作过程：
1、淡水进水淡水室后，淡水中的离子与混床树脂发生离子交换，从而从水中脱离。
2、被交换的离子受电性吸引作用，阳离子穿过阳离子交换膜向阴极迁移，阴离子穿过阴离子交换膜向阳极迁移，并进入浓水室从而从淡水中去除。
3、离子进入浓水室后，由于阳离子无法穿过因离子交换膜，因此其将被截留在浓水室，同样阴离子无法穿过阳离子交换膜，被截留在浓水室，这样阴阳离子将随浓水流被排出模块。与此同时由于进水中的离子被不断的去除，那么淡水的纯度将不断的提高，待由模块出来的时候，其纯度可以达到接近理论纯水的水平。
4、水分子在电的作用下被不断的离解为H+和OH-，H+和OH-将分别使得被消耗的阳/阴树脂连续的再生。
