单晶硅炉用超纯水设备顾名思义主要应用于单晶硅生产，该设备选用的反渗透技术和EDI技术，可以有效去除原水中的离子杂质，保证设备的出水水质符合行业用水需求。本设备采用全自动控制系统，保证设备具有操作简单，运行稳定等优点。
工作原理：
1、水进入纯化系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子；
2、树脂截留水中的溶存离子；
3、被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动；
4、阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外；
5、阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外；
6、浓缩了的离子从废水流路中排出；
7、去离子水从树脂/膜内流出。
单晶硅炉用超纯水设备的优点：
1、无需酸碱再生：在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生，且需要安全储存酸碱的车间，再生时有大量有害废水和废弃物需处理，增加了环保和安全方面的工作困难。而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境；
2、连续、简单的操作：在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而EDI的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化；
3、降低了安装的要求：EDI系统与相当处理水量的混床相比，有较不的体积，它采用积木式结构，可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计，使超声波清洗用超纯水设备在生产工作时能方便维护。
