普发涡轮分子泵-【艾禾真空】

普发涡轮分子泵半导体检漏实验室真空机组泵HiPace 400 是德国普发真空（Pfeiffer Vacuum，隶属于 BUSCH 集团）高性能涡轮分子泵，适配科研、镀膜、分析仪器等高真空工况，抽气性能优异、运行稳定、安装灵活，原厂配套配件齐全，可搭配各类前级泵搭建真空机组。

二、核心技术特点：

1. 高效抽气性能 优化转子几何结构，气体负载处理能力强，氦气、氢气等轻气体抽速突出，各类气体压缩比表现优秀，兼容多种前级泵，气体通量大，适配大出气工艺。

2. 长效稳定耐用 搭载行业主流混合轴承技术，配套长效专用润滑，大幅延长泵体使用寿命，减少设备维护频次。

3. 安装运行友好 支持任意姿态安装，整机约 11.6kg；4 分钟快速启动，运行噪音低至 50 dBA（EN ISO 2151 标准），车间实验室使用安静无干扰。

4. 通讯与拓展标配 RS-485、远程控制接口，可选配多类现场总线；原厂全套配件可选：电源套件、显示单元、安全阀、放气组件、断电放气装置、减震器、安装支架、各类连接线缆等。

5. 通用标准法兰 进气口 DN100 ISO-K/ISO-F/CF-F；排气 DN25 ISO-KF，预留 G1/4" 辅助接口，适配多种真空密封标准。

三、关键技术参数：

1. 各气体抽速

· N₂（氮气）：355 l/s

· Ar（氩气）：320 l/s

· He（氦气）：470 l/s

· H₂（氢气）：445 l/s

2. 极限压缩比

· N₂、Ar：1×10¹¹

· He：3×10⁷

· H₂：4×10⁵

3. 额定转速气体通量

· N₂：6.5 hPa·l/s

· H₂：14 hPa·l/s

· He：20 hPa·l/s

· Ar：3.5 hPa·l/s

4. 工况物理参数

· 氮气前级真空：11 hPa

· 启动加速时间：4 min

· 运行噪音：50 dBA

· 整机重量：约 11.6 kg

· 标准通讯：RS-485、远程控制

· 安装方式：任意角度安装

四、主流应用场景：

1. 光学 / 半导体镀膜 PVD、光学镀膜、LED、硬质涂层设备，稳定提供工艺高真空，保障薄膜均匀度。

2. 科研实验室设备 等离子体实验、纳米材料研究、粒子相关实验，轻气体高抽速降低真空本底。

3. 分析检测仪器 各类质谱仪、氦检检漏仪、表面分析设备，提升检测精度。

4. 工业真空加工 真空热处理、电子束焊接、元器件真空封装、腔体检漏等场景。

五、供货与售后保障：

北京艾禾真空现货供应普发涡轮分子泵半导体检漏实验室真空机组泵普发 HiPace 400 涡轮分子泵，全新整机及配套配件常备库存，交货快；提供原厂标准质保，配套真空方案设计、安装指导、维修保养全流程技术服务。

配套原厂配件清单：

电源适配器、供电电缆、通讯连接线、多型号现场总线模块、电源显示单元、安装套件、安全阀、真空放气配件、断电自动放气单元、减震阻尼器等。