超高真空电子束蒸发镀膜系统产品特点
2026年07月30日 10:21:29
来源：创新制造 >> 进入该公司展台
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DE400DUL 超高真空电子束蒸发镀膜系统 1、核心环境与样品处理
- 超高真空镀膜环境
- 样品可高温加热
- 样品可低温冷却
2、镀膜性能优势
- 优质薄膜质量及膜厚均匀性和重复性
- 高精度镀膜速率和膜厚控制
3、操作与控制配置
- LOAD LOCK，全自动送样
- PLC+PC 全自动控制
4、可选功能
- 可选离子束清洗或辅助沉积
- 可选 RF 等离子体清洗
5、沉积能力
- 可沉积金属、半导体、介质材料
- 可用于沉积单层、多层薄膜
- LIFT-OFF 工艺蒸镀
- 低维材料制备
6、样品台与应用场景
- 多种样品台或客制样品台制备特殊工艺薄膜
- 用于研发和中试
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