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中试-量产 电子束蒸镀机产品介绍

2026年07月30日 10:16:47      来源:创新制造 >> 进入该公司展台      阅读量:15

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 DE400P 中试-量产 电子束蒸镀机配备电子束蒸发源或热阻蒸发源,用于沉积金属或介质薄膜及lift-off工艺薄膜沉积,用于批量生产。
  1、设备定位
  中试与量产专用电子束蒸镀机,可满足批量生产及中试阶段的镀膜需求
  2、核心功能
  - 批量样品蒸镀,适配中试及量产场景
  - 可沉积金属、半导体、介质材料
  - 可用于沉积单层、多层薄膜
  - 支持LIFT-OFF工艺蒸镀
  - 可用于低维材料制备
  3、性能优势
  - 高真空镀膜环境,保障镀膜纯度
  - 样品可加热,优化薄膜附着力与性能
  - 优质薄膜质量,具备出色的膜厚均匀性和重复性
  - 高精度镀膜速率和膜厚控制,提升产品一致性
  4、主要技术指标
  - 极限真空压力:<5E-8Torr
  - 大气抽至5E-7Torr时间:<40分钟
  - 基片尺寸:可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸
  - 片内膜厚均匀性:≤+/-3%
  - 片间膜厚重复性:≤+/-2%
  5、配置与控制
  - 可选离子束清洗或辅助沉积,进一步优化镀膜效果
  - PLC+PC全自动控制,操作便捷、稳定性高
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