详细介绍
广东众志检测仪器半导体芯片老化测试设备，分别针对常规高温测试、高温寿命测试、无氧高温制程、洁净高温制程等不同场景，满足半导体行业从研发到生产的全流程测试需求，覆盖90%以上的半导体芯片老化测试场景。众志双层洁净无尘烘箱适用于晶圆 / 芯片烘烤、光刻胶固化、封装前洁净干燥等场景，可在 Class 1000 洁净等级环境下进行高温处理，有效避免灰尘等杂质对半导体产品造成污染。
●温度工作范围：室温+50℃~250℃
●温度控制方式：PID闭环控制+SSR 驱动
●控制系统：HMl+PLC 电气控制系统
●控温精度：±0.5℃
●温度均匀性：±2%℃(空载)
●升温速率：4℃/min
●洁净等级：Class 1000
半导体无尘洁净烤箱特点
●洁净环境保障：洁净等级达 Class1000，满足半导体行业对洁净度的严苛要求，确保产品在烘烤与固化过程中不受灰尘等杂质影响，颗粒物含量低于行业标准20%；
●双箱体独立运行：采用两箱体设计，每个箱体可独立运行，可同时进行不同温度或不同工艺的试验，提升设备利用率与生产效率，设备利用率比传统单箱体设备提升 50%;
●精准温控系统：温度工作范围为室温 +50°C~250°C，PID 闭环控制+SSR驱动，控温精度±0.5°C，温度均匀性±2%°C (空载)，确保每个箱体的温度稳定性与均匀性，温度误差率低于 1%；
●高效升温设计：升温速率可达4°C/min，搭配优化的加热系统与风道设计，实现快速升温，缩短制程周期，比传统设备制程效率提升15%；
●智能控制与通讯：HMI+PLC电气控制系统，操作便捷，支持 RS485/RJ45通讯协议，便于实现远程监控与数据管理，可与工厂MES系统无缝对接；
●灵活样品配置：每个箱体配置2个不锈钢支层架，层架间距可调节，满足不同尺寸样品的测试需求，适配 85%以上的晶圆与芯片样品尺寸。
执行与满足标准及试验方法
●符合 Class 1000 洁净等级相关标准
●GJB150.3A-2009 高温试验
●IEC60068-2-2:2007 试验 Bb: 高温
●JEDEC JESD22-A108 高温工作寿命试验
●GB/T 11158-1989 高温试验箱技术条件
●半导体行业洁净环境高温试验相关标准
