樫山工业干式真空泵是樫山工业（Kashiyama）旗下，面向半导体与**制程的新一代超节能干式真空泵，属于MU‑GX的国际版/升级线，核心定位：高效、洁净、低噪、智能。
一、定位与关系：
品牌：樫山工业（Kashiyama）
系列：NeoDryG（简称ND‑G）
对应国内型号：MU‑GX系列（同平台，命名差异）
定位：替代传统MU‑P/H、MU‑X，主打节能+小型化+高真空+智能化，对标国际一线干式泵。
二、Kashiyama日本樫山工业干式真空泵核心参数：
电源：三相200V/400V（50/60Hz）
噪音：≤52dB（比同级别低3–5dB）
接口：进气NW40/NW80，排气NW40
材质：腔体/转子不锈钢+陶瓷涂层，无油高洁净
三、关键优势：（对比老款MU系列）
节能（*大卖点）
比MU‑P/H省电40%–50%
比MU‑X再省10%–15%
待机功耗<0.1kW，长期运行电费显著降低
小型化+轻量化
体积比MU‑P/H小30%–40%，重量轻20%–30%
节省洁净室空间，安装更灵活
高真空+高洁净
极限真空可达0.5Pa，满足半导体刻蚀、沉积等严苛工艺
无油设计，腔体涂层防腐蚀、防粉尘，适配高洁净环境
智能控制+低维护
标配Modbus‑RTU，支持远程监控、自诊断、变频调速
支持N₂吹扫（0–30SLM），防结露、防腐蚀，延长寿命
四、适用场景：
半导体：刻蚀、PECVD、离子注入、晶圆清洗
光学/镀膜：溅射、蒸发、OLED、真空热处理
分析仪器：质谱、SEM、XRD（低噪音+高稳定）
精密化工：蒸馏、干燥、结晶（无油污染+节能）
五、与樫山其他系列的区别：
NeoDryG（MU‑GX）：超节能+小型化+高真空，****
MU‑X：标准节能型，性价比高，常规洁净工艺
MU‑P/H：通用/耐腐蚀型，重工况、高水汽、腐蚀环境
SD系列：大流量螺杆泵，抽速10,000–100,000L/min，整线大系统
