1.整机风冷,安装零水路配套
LR/HR/UR/LS/GR全部水冷,RDA、CR风冷;RDA体积比CR更小,可直接嵌入设备机柜,实验室、精密仪器改造无基建成本。
2.小型机身+媲美油泵的极限真空
六级压缩结构,空载极限真空低至0.08Pa,性能对标油封旋片泵,且无油雾返流污染,质谱、氦检漏等高洁净仪器标配。
3.自带大气气镇FA,耐水汽优异
最大可处理300g/h水蒸气,小型冻干、蒸镀含水汽工艺不用频繁维护;气镇仅需少量干燥空气,无需持续氮气吹扫。
4.单/三相通用电机,设备适配性强
一台泵兼容实验室单相市电与工厂三相工业电,出口设备、多场景通用,无需区分机型备货。
5.无滑动摩擦部件,长寿命低维护
转子间隙运转无磨损,仅轴承、密封为易损件;日常只需清理进气过滤器,无换油工序。
适用场景:
1.精密分析仪器(主力)
氦质谱检漏仪、GC-MS/ICP质谱、扫描电镜SEM、透射电镜TMP分子泵前级
2.小型真空镀膜
实验室小型蒸镀、小型溅射、光学镜头研发样机
3.半导体小型设备
小型等离子清洗、器件真空脱气、微型Loadlock预抽
4.通用小型工艺
小型冻干、气体回收、真空包装、实验室热处理炉
玉崎半导体(深圳)有限公司
日本京都玉崎资源旗下子公司,成立于2026年,总部位于日本大阪,是一家专注于半导体全品类产品贸易、技术配套及供应链服务的专业化企业,深耕半导体行业多年,聚焦全球**半导体资源整合与国产化替代配套,助力国内半导体产业高质量发展,与深圳市京都玉崎电子有限公司为关联企业专攻半导体细分赛道。
公司主营范围涵盖半导体全产业链相关产品,包括但不限于:集成电路(IC)、功率半导体(SiC/GaN、MOSFET、IGBT)、被动元件(电阻、电容、电感)、半导体设备及配件、耗材、传感器、光电器件等,广泛适配光伏储能、新能源汽车、工业控制、消费电子、通信设备、半导体制造、医疗电子、大学院校等核心应用领域。