VAT阀以“零问题”为生产原则，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研装置及工业真空干燥等领域。
根据应用场景和功能的不同，
VAT阀主要可以分为以下几大类：
1.真空全金属阀（UHV/XHV 应用）
专为应对异常超高真空（UHV）和较高真空（XHV）环境设计，采用“硬对硬”金属密封技术，无弹性体，具有极低的放气率、高耐温及抗辐射能力。
全金属闸阀：提供安全可靠的隔离，适合高温及辐射环境，泄漏率极低。
全金属角阀：通常与UHV抽气系统配合使用，用于连接或隔离附加设备。
全金属可调微漏阀：用于精确调节从超高真空到大气压的最小气体流量。
快速关闭阀：用于保护敏感环境（如同步加速器、对撞机）免受突发大气冲击。
2.传输阀与隔离阀
主要用于高循环生产系统，具备高可靠性、高运行时间及低维护需求的特点。
大型转移阀（如 06.6 系列）：专为真空镀膜及大型涂层系统打造，采用 SolVAT 技术，启闭时间极短（≤2秒），可承受高温工艺。
大型转移阀（如 02.4 系列）：搭载 MONOVAT 技术，专为有机材料蒸镀系统设计，具有无冲击闸门运动，能有效抗工艺沉积物。
UHV 闸阀（如 10.8 系列）：配备 VATLOCK 技术，提供可靠密封并防止阀门故障，免润滑设计，可烘烤至 250 °C。
3.压力控制阀
用于真空系统中的精确压力调节。
蝶形控制阀（如 61.7 系列）：基于阀板节流原理，可在极大的压力范围内提供出色的压力控制性能，反应迅速（0.5秒内达到全部电导率），适合热工艺环境。
4.气体计量与特殊阀门
全金属可变泄漏阀（如 59.0 系列）：允许准确控制极微小的气体流量（1×10^−10 mbar·L/s 至 500 mbar·L/s），采用镀金不锈钢薄膜闸门密封，对腐蚀性气体具有高耐受性。
其他类型：包括角阀、隔膜阀、摆式隔离阀、泄压阀以及多阀门模块等。
选型建议
在选择 VAT阀时，需重点考虑以下因素：
1.真空度要求：常规高真空可选用带弹性体密封的阀门；若需达到超高真空（UHV/XHV）且需耐高温烘烤，必须选用全金属密封阀门。
2.功能定位：明确是用于简单的腔体隔离（闸阀/角阀）、快速传输（转移阀），还是精密的压力/流量调节（蝶阀/微漏阀）。
3.工艺环境：考虑是否存在腐蚀性气体、高辐射或高温环境，以及是否需要抗工艺沉积物能力。
4.维护与寿命：对于高强度连续生产周期，建议选用具备百万次循环寿命、低维护需求的专用传输阀系列。
