2026年06月20日 17:44:34 来源:深圳市天友利标准光源有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:3
在单色仪的光路布置中,简单的是垂直入射装置。它应用了一块自聚焦的凹面光栅,无需辅助的光学器件。称为濑谷浪冈装置的光路使入身光束和出射光束在圆弧上保持固定的角度70°15′。在真空紫外区仅产生少量散焦。麦克沸生(McPherson)的光学系布置采用了不寻常的结构。在它的交叉光学系统中采用了0.3m焦距的非球面反光镜,系统的有效孔径比为f/5.3。这一设计使它具有高通量而且焦距短。它既保持了垂直入射共焦点的特性,又有较宽的狭缝入射角。在波长105nm以下时,必须采用掠入射原理。光栅在罗兰圆上移动,出射狭缝在圆周上变动位置。入射角范围为82°~88°。