2026年06月18日 09:11:46 来源：智造先锋 >> 进入该公司展台 阅读量：2
气体质量控制流量计优势：
-超快稳定时间(低至50mS）
-卓越的精度/重复性(分别为设定点的0.8%/0.1%)
-宽控制范围(1000:1)
-多种接口可选:RS485、DeviceNet、I0-Link和模拟电压/电流
-多种接头形式可选:底部安装式、Swagelok、VCR、VCO、W-Seal
-多气体及气体识别功能。
-可溯源至NIST的校准
-MTBF 169年
气体质量控制流量计无与伦比的CM0Sens技术
SFx5400产品的核心是无与伦比的SensirionCMOSens技术。该技术将高精度传感元件与先进的信号处理集成在单个芯片上，从而提供精确枝准和温度补偿的信号。得益于这种传感器技术，SFC5400在速度、精度和重复性方面具有无与伦比的表现，同时系统成本也极具竟争力。由于SFx5400出色的长期稳定性无需重新校准SFC5400提供最快的稳定时间、宽控制范围以及机械接头和通信接口方面的高灵活性。数字版本还提供可选的智能功能，如多气体和量程气体识别和自检功能。SFM5400是基于SFC5400质量流量控制器的无阀流量计。它具有与MFC对应产品相同的性能优势和配置，但不提供控制器功能SFC5400/SFM5400产品的出色性能使其成为众多应用的最佳选择，例如分析仪器、镀膜/刻蚀设备、医疗设备和过程自动化等。
气体质量控制流量计基于CMOSens@的SFC5400/SFM5400通过基于热传递的量热法(calorimetric)原理测量气体质量流量。加热元件位于热绝缘薄膜上，上游和下游分别集成一组热电堆(thcrmmopiles)共两组，全部集成在单个硅芯片上。在气体流动时。上游和下游的温度分布会被扰动。然后测量这种不对称性。测量区域以及A/D转换器和进一步的信号处理基于使用CMOS标准工艺的单个芯片。
基于MEMS的CMOSens技术实现了比传统质量流量控制器中的旁路毛细管直径(0.1至0.5mm)更大的气体通道截面(约1.5x1mm22)。这种通道设计使设备对颗粒、堵塞和潮湿气体更加稳健。由于紧凑的单芯片设计及其安装在金属部件之间，基于CMOScns@的传感器对电磁干扰(EMC)具有很强的抗干扰能力。
薄膜极小的热质量造就了3-4毫秒的超快传感器响应时间。由于放大、A/D转换、数字线性化和温度补偿的整个设计与该传感器速度相匹配因此可以每毫秒提供一个完全补偿的流量测量值。结合运行在板载微处理器上的先进控制算法，SFC5400与传统质量流量控制器相比提供了大幅缩短的稳定时间。
此外，两个温度传感器的特殊布置、片上温度补偿以及噪声源的最小化，带来了在大动态范围内重复性和精度方面的无与伦比的性能得益于其完美的设计，SFC5400/SFM54000质量流量控制器/流量计表现出零漂移性能，无论环境温度和压力如何变化，都能精确控制/测量真实的质量流量。
