采用微焦点X射线发生装置与高灵敏度平板检出器且带有CT功能的X射线检查装置。
透视模式和CT模式之间顺畅的切换操作能够快速完成透视观察或截面观察。
另外，设备采用了可实现*自动化校正与高速CT扫描&重建的（Xslicer）系统。
通过没有变形的，放大倍速而且具有高清晰度的图像
能够对电子器件等平板形状样品的细微内部结构和缺陷进行观察。
岛津X-RAY
辅助检查的驱动系统
高速XYZ载物台
通过±180°的旋转·0–60°倾斜结构可迅速到达检查点
搭载了焦点X射线发生装置
搭载了管电压160KV·1µm分辨率开放管X射线发生装置。
实现了高压发生器一体化，无需进行高压电缆维护。
自动调整功能，使更换灯丝更简单。
XslicerSMX-6000
*的安全性
通过屏蔽X射线的防护措施来防止X射线泄露。
X射线检出器的周围搭载了碰撞感知传感器，当紧急情况发生时（样品快要碰到检出器时）系统停止驱动系统运行。
正门锁的设计，可让正门在X射线发射时处于关闭状态。另外，通过互锁设计，当门处于开启状态时能够保证不发射X射线以及驱动系统不运行，从而确保安全。
根据样品高度设置软件限位功能可防止样品与平板检出器发生碰撞
