Aera流量计
气体质量流量控制器FC-DR980CFC-DR981C：
Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业*的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。
气体质量流量控制器性能：
数字和模拟两用型控制
快速的响应
高精度
高度的可靠性和稳定性
易于整合——标准连接器和尺寸
规格
FC-DR980C
FullScaleRange(N2Eqv)
单气体2-5000sccm
ControlValveType阀门类型
常开式或常闭式螺线管(NCorNO)
Fitting
接头
1/4"VCRor1/4"Swagelok兼容
IGS底部/表面贴装(c或w密封)
Seals密封
橡胶Viton金属
ResponseTime响应时间
≤1Sec(超过满量程10%)
Accuracy
精度
25%-100%:≤±1%S.P(满量程25%到100%)
2%-25%:≤±0.25%F.S(满量程2%到25%)
Linearity线性度
≤满量程的±0.5%
