Acona LE Mini 在线液体颗粒计数器 是上海光起科技有限公司推出的一款高性能在线液体颗粒检测设备，专为工业在线及过程控制场景设计，尤其适用于 CMP（化学机械抛光）研磨液等高价值工艺液的颗粒风险控制。
一、核心参数
1.检测原理：基于单颗粒光学传感器技术（SPOS，光阻法），通过逐颗粒计数实现高精度检测。
2.测量范围：0.5 - 400 μm，覆盖微米级颗粒的全面检测需求。
3.通道数量：1024 个标准通道（支持自定义通道划分），提供超高分辨率的粒径分布分析。
4.精度：1μm PSL 标准粒子粒径平均值 ±10%，确保数据可靠性。
5.最小样本量：10 mL，减少样品消耗，适合小批量检测场景。
6.稀释系统：自动稀释系统，支持高浓度样品直接检测，避免人工稀释误差。
7.样品浓度限值：10¹¹ 个/mL，适应高浓度工艺液的检测需求。
8.电源要求：3 相电源插座（IEC C14 插座），100-240VAC，50/60Hz，功率 ≤5A。
9.气体要求：压缩空气或气体：1/4'' push on，3.5-5.6 kg/cm²（50-80 psi）；水：1/4'' flare，1.8-2.5 kg/cm²（25-35 psi）。
10.进样与排液：进样：1/4'' flare，0.2-2.1 kg/cm²（3-30 psi）；排液：1/4'' flare，零压力排放。
二、功能特点
1.在线监测能力：
面向 POU（Point of Use，使用点）在线场景，支持过滤前、过滤后、输送末端等关键节点的实时监测。
提供颗粒趋势与阈值统计结果，助力过程控制与异常预警。
2.高精度与高分辨率：
采用 SPOS 技术，实现逐颗粒计数，避免传统方法中颗粒重叠导致的误差。
1024 通道设计，粒径分辨率达 0.01μm，清晰分辨相邻颗粒大小，拒绝“假峰”与误判。
3.自动化与智能化：
自动稀释系统，支持高浓度样品直测，消除人工稀释误差。
内置数据分析系统，支持颗粒趋势分析、阈值统计及超限预警。
提供通讯与报警接口（按配置），支持对接 SDS 系统或上位机，实现数据归档与维护事件关联分析。
4.模块化设计：
支持按工况选配稳流、回压、脱泡、保护过滤与冲洗等组件，降低气泡/波动对趋势数据的影响。
旁路取样-检测-回流/排放路径可配置，便于匹配不同现场管路与工艺窗口。
5.适应性强：
适用于 CMP 研磨液、药液、超纯水、油液等多种液体的颗粒检测。
在不改变主流程的前提下完成在线颗粒监测，降低停机风险。
1.CMP 研磨液生产与质量控制：
出厂质量控制：监测研磨液生产过程中的颗粒分布，确保批次一致性。
储存/混配过程监控：实时跟踪研磨液在储存与混配过程中的颗粒变化，避免污染引入。
2.SDS（研磨液输送系统）集成：
输送系统在线质量监测：在研磨液输送过程中持续监测颗粒数量，确保输送质量。
报警联动与维护窗口优化：根据颗粒数据触发报警，指导维护计划，减少非计划停机。
3.晶圆厂 CMP 产线：
POU 端放行前监测：在研磨液进入机台前进行最终颗粒检测，确保符合抛光要求。
过滤器更换评估：通过颗粒数据评估过滤器状态，优化更换周期，降低过滤成本。
异常追溯：记录颗粒数据，支持生产异常时的快速溯源与分析。
