检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求
从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。AxioImagerVario支持的最大样品高度为254mm，最大横向样品空间为300mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。
洁净室
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DINENISO14644-1标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。AxioImagerVario已通过此标准认证，并满足5级洁净室的应用要求。ISO5级洁净室相当于原先标准FEDSTD209E(1992)的100级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。
优势
具有两种手动机柱和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择，充分利用显微镜的最大横向样品空间300mmx300mm和最大样品高度254mm的优势。
AxioImagerVario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
将AxioImagerVario与LSM900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品
AxioImagerVario已通过DINENISO14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。
