探针式表面轮廓仪Dektak Pro，以其多功能，使用的便捷性和高精度在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的较好表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的标gan，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。
一、探针式表面轮廓仪核心优势
1.高精度测量：
台阶高度重复性优于4埃（Å），在1微米台阶高度标准上实现这一精度，确保数据可靠性。
垂直分辨率可达1埃（@6.55微米范围），覆盖1纳米至1毫米的台阶高度测量范围，满足从纳米到毫米级的形貌分析需求。
2.多功能性：
适用于二维表面轮廓测量和可选的三维测量，满足不同研究需求。
可测量表面轮廓、台阶高度、薄膜厚度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲等多种参数。
3.便捷性：
采用直驱扫描平台技术，缩短测量时间，同时保持高分辨率和低噪声，加速3D形貌或长轮廓扫描的数据获取。
搭载Vision64® 64位并行处理软件，支持快速数据处理和自动化分析，简化操作流程。
自对准探头夹具设计，探针更换耗时不到一分钟，且无需重新校准，提升用户体验。
4.稳定性与耐用性：
单拱形龙门式设计有效降低环境振动和噪声干扰，提升扫描稳定性。
低惯量传感器（LIS 3）使系统能够快速适应表面形态的突然变化，在动态测量场景中保持准确性和响应性。
1.测量技术：探针轮廓测量（接触测量）。
2.探针选项：
探针半径选项从50纳米到25微米可选。
支持高径比（HAR）针尖（如200微米×20微米），适应深沟渠测量。
3.探针压力：
标准模式下为1至15毫克。
N-Lite+低力模式下可低至0.03毫克，减少对脆弱样品的损伤。
4.样品台：
支持手动或电动XY载物台，最大可容纳200毫米（8英寸）晶圆。
配备编码器实现高精度自动数据收集。
5.扫描长度范围：55毫米（2英寸）；200毫米（8英寸）具备扫描拼接能力。
6.数据点：每次扫描可达120,000个数据点。
7.样品厚度：可达50毫米（1.95英寸）。
8.垂直范围：1毫米（0.039英寸）。
三、应用领域
1.微电子：监测沉积和刻蚀过程、测量器件和传感器高度、评估沟槽深度。
2.薄膜与涂层：验证眼镜上的UV/硬化涂层、优化水龙头/配件上的装饰涂层、分析油漆或墨水涂层厚度。
3.生命科学：分析生物材料的厚度、评估生物传感器的表面形貌、表征微流体通道。
