2026年04月09日 16:31:58 来源:创新制造 >> 进入该公司展台 阅读量:1
一、 技术定位:为何需要“气体制冷”?
二、 核心参数与选型逻辑(PTLQ系列)
| 参数维度 | 典型指标 | 选型解读 |
|---|---|---|
| 温度范围 | -135℃ ~ +225℃ | 覆盖从芯片低温测试(-65℃)到材料高温老化(+150℃)的全工艺链 |
| 控温精度 | ±0.1℃ ~ ±0.5℃ | 科研级应用需选配高精度PID模块,工业在线控制±0.5℃已足够 |
| 制冷方式 | 双压缩机复叠式 | 采用品牌(如泰康)压缩机,确保-80℃以下仍有充足冷量 |
| 气体流量 | 200 ~ 1000 L/min | 流量与出口温度成反比,需根据负载散热功率计算匹配流量 |
| 控制系统 | 西门子PLC + 7寸触摸屏 | 支持Modbus通讯,可集成至工厂MES系统,实现远程监控 |
三、在半导体与电子制造中的具体应用
结合你之前关注的半导体制造领域,普泰克气体制冷机主要解决以下三大类问题:
晶圆与芯片低温测试(Characterization)
场景:在晶圆探针测试(Wafer Probing)或可靠性测试(HTOL)中,需要将芯片置于-40℃至 -80℃的低温环境,以模拟恶劣工况或测试低温电气特性。
价值:相比建造大型低温箱,气体制冷机通过特制载冷台(Chuck)直接对晶圆背面吹送低温氮气,降温速度快(常温至-80℃仅需数分钟),且无振动干扰,不影响探针接触精度。
激光器与光学元件热管理
场景:高功率激光器(如EUV配套)在运行时会产生大量热量,局部温升会导致波长漂移或透镜形变。
价值:通过洁净的低温气体直接冷却激光腔体或镜座,实现定点散热,维持光学系统的热稳定性。
工艺设备局部冷却(替代液氮)
场景:真空镀膜腔体、等离子刻蚀设备的观察窗、屏蔽板等部件,需要防止热量积聚。
价值:作为液氮的“自动化替代品”,无需人工频繁更换杜瓦瓶,通过PLC设定温度,实现24小时无人值守运行,且成本远低于液氮长期消耗。
四、使用与维护要点
1.进气质量要求:必须使用露点≤-40℃的干燥压缩空气或高纯氮气。若进气含水,会在换热器内部结冰堵塞流道,导致设备报错停机。
2.防爆环境适配:针对化工、锂电池测试等场景,普泰克提供Expxdmb ⅡCT4防爆认证版本,确保在潜在爆炸性环境中安全运行。
3.能效优化:可选配冷量回收装置,利用回气预冷进气,降低压缩机负载,节能率可达15%-30%。
