多功能扫描探针显微镜的基本工作原理是利用探针与样品表面原子分子的相互作用，即当探针与样品表面接近至纳米尺度时形成的各种相互作用的物理场，通过检测相应的物理量而获得样品表面形貌。扫描探针显微镜丰要由探针、扫描器、位移传感器、控制器、检测系统和图像系统5部分组成。而原子力显微镜是一种扫描探针显微镜的一支，更具有优势。尤其是韩国Park原子力显微镜值得信赖。
1、多功能测量：能实现高分辨的形貌测量，除用于测量各种物质的表面形貌外，能测量多种材料如无机物非金属材料、金属材料、高分子材料、复合材料和生物材料的多种物性，包括磁力、摩擦力、粘弹性、表面电位势、静电力、压电响应、电流像、电流隧道谱、电容等等。
2、液体及电化学环境测量：实现液体环境下进行接触式和轻敲式AFM测量以及电化学环境中进行AFM及STM测量。
3、*的功能（详细功能介绍请参见下述功能模式介绍）：
4、精密的设计：系统包含防震和隔音设备，满足一般条件下进行各种高分辨的测量；并可与多种设备联用，如纳米力学系统、铁电分析仪等。
多功能扫描探针显微镜结合X射线能谱仪在化学、物理、材料学、生物、医学等领域的应用中,具有非常重要的地位。本文主要介绍了扫描电子显微镜及X射线能谱仪的工作原理、结构特点,并对仪器的维护与使用方面进行了一定的介绍,与广大同行进行探讨。
