超纯气体是指纯度高达99.999%以上的气体，其中的杂质成份远远低于国际标准规定的最高限制。常见的有氧气、氮气、氩气、氦气等。由于气体具有高的纯度，因此可以广泛应用于半导体、光电子、航空航天和化学制品等领域。应用范围非常广泛，特别是在微电子制造领域。以半导体材料的生产为例，控制可以保证制程的优异性，避免杂质的影响。例如，在工厂中，空气中的微粒和杂质会对生产产生不利影响，因为它们可能在接触表面时未能正常分离，导致缺陷和故障。相对应的，在制造过程中的控制，对产品的质量、性能和制程稳定性具有高的价值。
1.半导体制造：要制备出高质量的晶体器件，必须使用它。在半导体晶片的制造过程中，如果有杂质的存在，会严重影响晶片的质量和性能。
2.医药工业：在医药工业中的应用也很广泛。比如制备药物时需要使用到超纯气气体来保证产品的纯度。
3.食品工业：在食品工业中，被应用于食品包装和储存。通过抽取含氧量低的气体来防止食品氧化。
超纯气体的制备方法：
1.物理吸附法：该方法利用活性炭、硅胶等固体吸附材料将气体中的杂质物质吸附去除，水相中的可以通过这种方法进行提纯。
2.蒸汽解析法：该方法是在高温下将气体中的杂质物质分解并去除，这会导致气体的成分逐渐变化，最终得到纯净的气体。
3.化学吸收法：利用化学吸收剂对气体中的目标杂质进行选择性吸收，真空下吸附装置吸附空气中的水和氮氧化物等杂质。
