液环真空泵在工作时，在一定温度下，当低压处的液体压力低于在该温度下的汽化压力（即饱和蒸汽压），液体开始汽化而产生气泡，并随液体进入高压区时，气泡破裂，周围液体迅速填充原气泡空穴，产生水力冲击。这种气泡的产生、发展和破裂现象就称为汽蚀。
在液环真空泵的工作过程中，吸入区域的压力与被抽系统的压力是一致的。也就是说，被抽系统的真空度越高，吸入区域的真空度也越高。
液环真空泵需要用液体作为工作介质。每种液体在某一温度下都有对应的饱和蒸汽压。当吸入区域的压力越接近液体的饱和蒸汽压时，液体越接近沸腾状态。这时，在吸入区域的工作液表面会产生大量的汽泡，由于液体在工作腔内产生的工作液蒸汽会占据部分工作腔的空间，泵对外的吸气能力会有所下降。当吸入区域的压力达到工作液的饱和蒸汽压时，可以认为工作腔内全部充满了工作液蒸汽，此时泵对外的吸气能力接近于0，而此时泵的汽蚀现象也zui为严重。
如果工作液是水，水温越高，泵的抽气性能下降越多。。
液环泵的汽蚀损坏和离心式水泵的汽蚀损坏原理是一样的，都是在汽泡产生和破裂的部位，金属表面出现点蚀现象，严重的会出现蜂窝状损坏。如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力，还会引起应力释放，产生裂纹。
由于泵汽蚀时，气泡在高压区连续发生突然破裂，以及伴随的强烈水击，而产生噪声和振动。可以听到像爆豆似的劈劈啪啪的声音。实测结果表明，汽蚀引起的振动频率范围为600～25000Hz，压力达49MPa。
如果上述气泡在金属表面上破裂，金属表面将受到连续强烈的水击，出现麻点，金属晶粒松动并剥落而成蜂窝状，甚至穿孔。汽蚀破坏除机械作用外，还伴随有电解、化学腐蚀等多种复杂的作用。实际破坏情况表明，泵过流部件汽蚀破坏的部位，正是气泡消失的地方。
