微量氧分析仪主要用于工业在线、实验室以及瓶装高纯N2、Ar、He、Ne和混合气体中的微量氧、痕量氧的快速检测，尤其适用于空分装置和各气体分装厂高纯气体中微量、痕量氧的检测;同时也适用于石油化工、冶金等行业的高纯工艺性气体、保护性气体中微量氧的快速检测。特别是对于含氧量<1PPMv的钢瓶气样，检测准确、快速、简便，具有zui大优势。
微量氧分析仪的误差范围是指在规定的工作条件下，微量氧分析仪具有的大误差，它可以用误差或引用误差的形式来表达。
1、瓶装标准气校准：分别采用零点气和量程气校准仪器的零点和量程，零点气多采用高纯氮，其氧含量小0.5PPM，(测量偏差也就有这么大，或者超过，不建议采用)。微量氧的量程气不能用钢瓶盛装，因为容易发生吸附效应或氧化反应，从而使氧含量发生变化，采用内涂层处理的铝合金气瓶盛装，现用现配较好，有效期一年为限也可以，不宜长久存放。我们在现场，多采用单点量程校验，其效果往往比带零点校验的校验结果更好，这是因为所用零点气不能有效保证造成的，并不是方法不好。现场在零位不能确切保证的情况下，建议放弃零点校验。
2、电解配氧法校准：电解配氧法是配制氧量标准气的一种简易和常用的方法，有些分析仪有些配件装置，可方便地对分析仪进行校准，这种方法简单、可靠并具有较高的准确度。
