高纯制氮机主要应用于外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

高纯氮的用途：

用于合成氨、硝酸、氰氨化钙、过氧化氢等生产。纯氮气用作防止氧化、挥发、易燃物质的保护气体、灯泡填充气。液氮主要用作冷源，用于仪器或机件的深度冷冻处理及食品速冻。也用于低温微粉碎用及电子工业等。主要在集成电路、半导体和电真空器件、彩色显像管制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，高温扩散炉中器件的保护气，还可用于石油、化工和氮分子激光器的生产中，且可作分析仪器载气，如标准气、校正气、平衡气及在线仪表标准气等。纯氮用于化工、冶炼及电子工业，用作置换气、保护气。高纯氮用于标准混合气制备及电子工业中用作保护气、置换气、运载气及反应气。用于合成氨，制硝酸，用作物质保护剂、冷冻剂等