气体质量流量控制器性能参数：
l 精度：±1.0%S.P. , ± 0.5%S.P.
l 重复精度：±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
l 工作范围：1%~100%F.S.
l 响应时间：≤700ms.
l 启动预热时间：1s
使用条件：
l 介质温度：-20℃~60℃
l 环境温度：-20℃~50℃
l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）
l 工作压力：0~1Mpa
l 耐压：1.5Mpa
l 工作压差范围：100kPa~700kPa
l 供电电压：24V±20%
l 消耗电流：＜500mA （＜12V）
l 安装方式：任意角度
l 接气部材质：SUS304，SUS316L
l 进出口：管螺纹（内螺纹）
l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶
