Surface系列平面气浮平台是地心科技高精度和高动态性能平面气浮平台，它是XY双气浮轴承正负压设计，采用空气环绕型预载，利用空气负压来平衡气浮导轨往上浮和下压预载力，保证气浮面的正常气隙，几何性能非常出色，俯仰和偏摆角度均小于2角秒。
双气浮轴承设计提升Surface系列气浮平台的负载能力和刚度，一阶自然响应频率可达330Hz以上，空载截止频率可达100Hz以上，使其具备高速高效运动，同时又能减少步进稳定时间。
Surface系列
平面气浮平台双驱轴与横梁轴均采用空气导轨的H桥式结构，零摩擦设计保证了出色的动态性能和效率，速度可达2m/s，加速度2g。Surface系列平台行程可以根据客户要求定制，还可与Surface Z、Surface Theta组合为X-Y-Z-Theta的多轴系统，适用于不同尺寸的和工艺的晶圆检测应用。
备注
(1)适配-ASH反馈，配置线性放大器；
(2)空载，需配置相应功率的放大器，速度受限于反馈分辨率；
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调；
(5)为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停(E-STOP)端口。
