半导体行业SEMI F47测试

                                                                                                —IT7800如何轻松编辑电压瞬降波形

    相信大家都有所了解，半导体制造厂商对供电有着的要求，特别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害，也会使制程中断，而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危害，SEMI F47 标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级，要求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免 疫 力”。

    何谓SEMI F47电压瞬降测试？电压瞬降通常是指负载端电压值降到额定电压值的 90%以下，并持续0.5~60个周期，而SEMI F47是半导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中，以50Hz为例，电压为50%标称值时为10周、电压为 70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受，相较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度，在电压为0%标称值时为1周，电压为80%标称值时为500周。

    艾德克斯始终致力于提供以功率电子为核心的专业测试测量解决方案，全新一代交流电源产品系列 IT7800大功率可编程电源、IT7900/P回馈式电网模拟器拥有强大的任意波形编辑功能，除了内置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28 等法规波形外，还可以模拟谐波/间谐波及各种复杂的电网扰动波形，是测试和实验室的理想选择。

    以下是某客户的测试需求：

SEMI F47 法规测试
三相输出，其中一相 1 个周期 50Hz（20ms）的瞬降（0V）

解决方案：通常大家可能会想到用 List 功能来编辑此波形，这是可以的，然而对于非整数周期，像是60Hz（16.7ms），计算每个单步的持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。

IT7800/7900/P系列电源提供突波/陷波的模拟功能，用户可以根据需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常波动，而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上，设置如下：

实测波形如下：可以看到 A 相跌落到 0，持续时间 1 个周期，每 5 个周期出现一次。

IT7900P回馈式电网模拟器基本特点
♦ 高功率密度，2U可达6kVA ，3U可达15kVA
♦ 电压可达350 VL-N
♦ 高效的能量回馈
♦ 主从均流，并机可达960kVA *1
♦ 内建丰富的波形数据库
♦ 支持单相/三相/反相/反相模式下电压可扩展至200%额定电压
♦ 支持NORMAL/LIST/SWEEP，任意一种模式均可以叠加Surge&Sag功能
♦ 触摸屏设计，简洁的UI界面
♦ 相位角0~360°可设
♦ 高达50次的谐波模拟和分析功能，内置IEC61000-3-2/3-12等测试法规 *2
♦ 可模拟任意波形输出，支持CSV文件导入波形
♦ 选配电流源选件 *3
♦ 内置USB/CAN/LAN/数字IO，选配GPIB/模拟量&RS232接口
♦ 多种保护功能，包括自动清保护、瞬时过电压保护POVP、软件看门狗等

IT7900P回馈式电网模拟器源特点
♦ 全四象限回馈式电网模拟器
♦ 输出频率：16~2400Hz *4
♦ 功率放大器，适用于功率硬件在环（PHiL）测试
♦ 专业孤岛测试模式，支持R/L/C及有功、无功功率设定
♦ 可实现AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式
♦ 多通道功能，单机可同时测试1~3个待测物 *5
♦ 可编程输出阻抗，模拟电力线路阻抗
♦ 谐波/间谐波波形合成
♦ 锁频和锁相功能，实现6相/12相电源输出
♦ 满足低电压穿越，相位跳变，频率变动、谐波注入等并网法规测试
♦ 内置IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法规波形测试
♦ 提供丰富的触发配置，同步捕获待测物电压波形，实现数据的采集与仿真功能
♦ 选配专业软件，配合多国**法规测试条件设立程序，可完成民用航空电子及IEC相关标准的测试 *3

IT7900P回馈式电网模拟器载特点
♦ 全四象限回馈式交/直流电子负载
♦ 输出频率：16-500Hz
♦ AC模式下支持CC/CP/CR/CS/CC+CR/CE多种工作模式，
♦ CE模式可以模拟单相整流RLC和并联RLC等多种电路拓扑
♦ DC模式下支持CC/CR/CP/CV等9种工作模式
♦ AC模式下支持整流和非整流两种模式
♦ 可调节波峰因数：1.414 ~ 5.0
♦ 支持相移功能，范围为-180º~180.0º *6
♦ 单位功率因数1功能可以使电流波形随电压波形变化，功率因数尽可能接近为1
♦ 支持抽载与卸除角度控制，0-359°全范围都可设定

*1 1U/2U*多可并16台，3U机型*多可并64台
*2 电压/电流谐波分析，源模式下电压谐波模拟，载模式下电流谐波模拟，基波≤60Hz
*3 即将发布
*4 电网模拟器和孤岛模拟模式下，16~150Hz
*5 单相机型不具备多通道功能
*6 开启整流功能后，相移的设置范围受峰值因数的约束
*7 1U/2U机型即将发布