2025年08月04日 16:51:45 来源:郑州成越科学仪器有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:15
高真空镀膜仪操作流程:
1.开启循环水,并检查循环情况和是否漏水。
2.开启电源总阀。
3.打开真空室的手动放气阀放气,放气结束后关闭手动放气阀。接着打开真空室盖。
4.放置蒸镀金属和样品,关闭真空室盖。
5.开启真空计,开启机械泵,然后打开前级阀。
6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀(蒸镀期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵)。
(6)当膜厚达到要求值后先关挡板后,再将电流调节阀归零,并盖住样品托。
(7)关闭设备总电源和墙上总电源以及循环水系统。
若出现异常,请先关闭分子泵!!!紧急情况,请关闭总电源!!!!