Sensofar共聚焦白光干涉仪是一种高精度的表面形貌测量仪器,广泛用于材料科学、光学研究、电子工程、汽车工业等领域。它结合了共聚焦显微技术和白光干涉技术,能够提供高分辨率、高精度的三维表面形貌和厚度测量。该仪器能够对微米级甚至纳米级的表面进行精细扫描和分析。
应用领域:
1.材料科学:用于研究材料表面的微观结构,分析表面粗糙度、孔隙率、裂纹等缺陷,研究薄膜、涂层等材料的质量。
2.半导体和电子工业:精确测量半导体芯片的表面形貌、厚度、接触点等关键参数,确保产品质量。
3.精密工程:测量复杂工件、模具、机械零件等的表面质量,确保加工精度和光洁度。
4.光学元件:测量光学元件表面的微观结构,保证其光学性能,如透镜、反射镜等。
5.生物医学研究:用于表征生物组织或材料的表面特征,进行细胞表面分析等。
6.汽车行业:评估汽车零件表面,如涂层质量、表面缺陷等,确保车辆的耐用性和外观质量。
1.共聚焦显微技术:
Sensofar共聚焦白光干涉仪采用共聚焦显微技术,通过使用激光束聚焦在样品表面进行扫描,精确地获取表面数据。
它能够有效地消除由于表面倾斜或曲率造成的模糊影响,获得清晰的表面图像。
2.白光干涉技术:
白光干涉技术结合了干涉测量原理,可以实现高分辨率的表面轮廓分析。利用干涉效应,测量不同光程的差异,获得样品的精确三维形貌。
该技术适用于表面形貌测量、薄膜厚度测量、微观结构分析等。
3.高分辨率和高精度:
Sensofar仪器具备较高的垂直分辨率(通常可以达到纳米级),能够测量表面的微小起伏。
水平分辨率也很高,能够满足不同应用中的精度需求。
4.非接触式测量:
Sensofar共聚焦白光干涉仪采用非接触式测量方式,避免了机械接触可能带来的样品损伤,非常适合于测量精细表面或高精密的工件。
5.大范围测量能力:
尽管仪器具有较高的精度,但它也可以进行较大范围的表面扫描,适用于各种尺寸的工件。
6.三维表面分析:
通过三维扫描,Sensofar能够生成样品的精确三维表面图像,方便对表面形态进行详细分析,如粗糙度、波纹度、微观结构等。
7.软件与数据处理:
Sensofar通常配备强大的分析软件,能够自动提取、分析和呈现表面形貌数据。软件功能包括表面粗糙度分析、厚度测量、表面轮廓分析等,支持多种数据格式导出,方便后期的处理与报告生成。
