Zeta-20三维光学轮廓仪的典型应用：
•MEMS(微机电系统)
•光伏太阳能电池
•微流体设备
•数据存储磁盘倒边
•激光打孔
•半导体晶圆级芯片级封装
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多功能光学测试模组
•*ZDot点阵三维成像技术与强大的算法相结合，轻易获得各种样品表面信息生成高分辨率3D数据。
•ZIC干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
•ZSI白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。
•ZX5白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。
•ZFT反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
•多功能——能够在任何表面上进行多次测量
•特定应用软件和算法
•对振动和样品倾斜不敏感
•高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量
•易于使用——用户可以快速启动和运行
混合反射率表面测量：在太阳能电池表面氮化物涂层上的银。银反射率大于90%，氮化物反射率小于1%，两者反射率差非常大，Zeta-20高动态范围可轻松测量混合反射率表面。
在微机电系统上进行亚微米级台阶高度测量：可实现大面积高分辨率测量。
分析防伪透明特征：可在混合、不平整的表面上进行准确的3D轮廓分析(图中是人民币20元防伪标志)
光刻胶和金属的台阶测量：ZDot的多模式*地实现了金属台阶和薄膜厚度的同时测量。
激光切割：测量LED设备上激光切割的深度。在非常低的对比度，高粗糙度的表面测量。测量空腔边缘的材料堆积，以确定它是否已流出划线区域并流入LED器件的有源区域。
