洁净室的定义，是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的化，于是有ISO-14644的产生。以下说明洁净室的各种标准与规范。

1、 Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、中国台湾、与中国大陆，都还沿用209E。

2、ISO-14644系列；美国政府为了推动经济化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题，称为14644-1，14644-2，一直到14644-9。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，有些只有初稿如14644-9

3、JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定洁净室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。

4、VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。

5、Gost-R 50766 (1995)：的洁净标准，定义洁净室的分类与一般需求。

以上是洁净室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关洁净室污染控制（也就是洁净度控制），和环境控制（如温湿度、震动噪音等），也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在洁净室性能测试的范围之内。

1、IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。

2、NEBB 洁净室测试规范第二版：这是目前为流行的测试规范，提到洁净室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 洁净室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 洁净室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站新闻中心【NEBB】专题。

3、ISO-14698 系列：14698 有三个子题，是有关生物污染的控制，请参照本站标准规范【ISO 14698】相关文章

每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对洁净室的要求可能都不一样。以上所列洁净室定义与洁净室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。