美国Anatech等离子刻蚀机当气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。如果该区域气流足够强，高比例的气体原子将服从电子或两个成为已电离的。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成的气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。 气体等离子体类型：各向异性等离子体是有方向性的，由电气控制一些具体的高能离子，或某个范围的能量（见美国铝框系统）。
各向同性等离子体是多方位和包含整个的3–D等离子的设备（见美国石英筒备系统）。
气体等离子体处理了超过湿化学处理几个优点。液体的表面张力的现象消除，正如泡沫的形成，这可能会导致不全湿化。等离子蚀刻可以迅速结束，终止进程，而液体蚀刻工艺很难准确的结束。
“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。
我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
