无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、**等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
千级万级无尘室室内空气参数要求
（1）温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
（2）新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
（3）送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要 300×2.5×30=22500m3/h的送风量（换气次数，是≥25次/h）；如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h 的送风量（换气次数，是≥15次/h）。
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