表面形貌测量仪采用激光扫描技术获取被测物体表面的三维坐标，实现非接触式的3D测量。该仪器具备高灵敏度、高精度、高可靠性的测量优势，广泛应用于材料科学、机械工程、航空航天等领域。它能够自动测量并分析结果，提高检测效率和制造品质，是现代工业生产和科研工作中的重要工具。
表面形貌测量仪由多个部件组成，每个部件都发挥着关键作用。以下是这些组成部件功能特点的详细介绍：
1、激光或白光源：
功能：激光或白光源是表面形貌测量仪的光源，用于照射待测表面。
特点：激光源具有高亮度和窄的频谱宽度，适用于高精度的表面形貌测量；而白光源则能够提供宽谱的光源，适用于对表面形貌的整体评估。
2、光学镜头和探测器：
功能：光学镜头用于聚焦光线，而探测器用于捕捉经过镜头反射或散射的光信号。
特点：高质量的光学镜头和高灵敏度的探测器能够提供准确的表面形貌信息，并且能够适应不同材料表面的测量需求。
3、扫描台：
功能：扫描台用于支撑待测样品，并在测量过程中以精确的步进方式移动样品。
特点：扫描台通常具有微米级的精度和稳定性，能够确保在测量过程中对样品进行精确的位置控制。
4、控制和数据处理系统：
功能：控制系统用于控制光源、扫描台和其他关键组件的运行，而数据处理系统用于处理和分析测量得到的数据。
特点：先进的控制系统能够提供高度自动化的测量过程，并且能够实现多种复杂的测量模式；而数据处理系统通常配备有丰富的分析功能，能够提供详尽的表面形貌信息。
