Sievers Boron Ultra在线型UPW硼分析仪是新一代的超纯水(UPW,Ultrapure Water)硼分析仪,能检测万亿分之一(ppt)的溶解硼浓度。Boron Ultra分析仪是市面上一款实时在线型硼分析仪,帮助许多微电子制造商和超纯水系统拥有者连续监测硼控制工艺,满足“国际器件与系统路线图(IRDS,International Roadmap for Devices and Systems)"有关超纯水的规格要求(即50 ppt)。
Sievers Boron Ultra分析仪能够检测到二氧化硅泄漏前硼的增加,有助于防止二氧化硅泄漏到超纯水中。此款分析仪能够主动检测到从工艺(如混合树脂床离子交换工艺和电子去离子化工艺)中泄漏出来的二氧化硅和其它离子污染物,从而帮助用户提高有效产出和降低离子交换工艺成本。
新款Sievers Boron Ultra的主要亮点,以及与旧款硼分析仪的比较:
●符合RoHS、CE、UKCA规则标准
●灵敏度更高:检测限为10 ppt(旧款为15 ppt)
●检测范围更宽:最高100 ppb(旧款为20 ppb)
●样品压力要求为15 psi以上(旧款为20 psi)
●分析时间更短:取样速度为3分钟或6分钟(旧款为6.5分钟或12分钟)
●单样品流配置或双样品流配置(可选)
●新款的、使用方便的10.1英寸彩色图形用户界面(GUI)
●改进的故障诊断功能,易于操作和维护
●多种输出选项包括:TCP/IP以太网、4-20 mA、USB、二进制输出、警报
●输入选项:二进制输入
●IP 45(不再用以前IP等级)