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等离子刻蚀

2025年07月10日 19:22:31      来源:沈阳麦科诺科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:11

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等离子蚀刻是指通过将加速粒子轰击到衬底表面来从衬底去除材料。

蚀刻于半导体、显示器和 MEMS 制造中的集成电路制造。

蚀刻分为两种类型——各向同性和各向异性刻蚀。

然而,随着电路每年变得越来越小,在大多数情况下各向异性蚀刻是。

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